Пятница, 1 марта
Новости

«Это значит, что мы полетим на Марс!»

Мордовские ученые выращивают монокристаллы карбида кремния.

Лидер республики Владимир Волков 7 июля посетил лабораторию МГУ им. Огарева в «Технопарке-Мордовия», чтобы ознакомиться с результатами проекта «Синтез и обработка монокристаллов карбида кремния». Они необходимы для создания уникального производства полупроводников для силовой и радиоэлектроники. «Очень хорошо!» — похвалил руководитель двух молодых разработчиков, которые показали, как и из чего выращиваются монокристаллы. Вместе с Волковым их работой интересовался Евгений Замотаев.

Приветствуя ученых, Владимир Волков отметил стратегическую значимость проекта для страны в целом. «Создание собственного производства нового поколения приборов силовой электроники — очень важный этап в стратегии импортозамещения, — подчеркнул он. — Мы сможем обеспечить компонентной базой с уникальными характеристиками авиа-, судо-, авто- и ракетостроение. А это, между прочим, приоритетные отрасли российской экономики!» Сотрудники лаборатории рассказали о своих достижениях. В 2013 году была осуществлена серьезная научно-исследовательская работа. Создана лаборатория с тремя ростовыми технологическими установками. Одна — для выращивания кремния, германия и различных оптических кристаллов из расплава, две другие с индукционным нагревом позволяют выращивать монокристаллы карбида кремния из паровой фазы. Модуль чистого помещения, оборудование и его монтаж обошлись в 110 миллионов рублей. При создании лаборатории был задействован научный потенциал университета, производственные мощности завода «Электровыпрямитель» и сформированная в регионе инновационная инфраструктура. Несмотря на международные санкции в отношении России, достигнуты существенные успехи. В 2015 году ученые научились выращивать монокристаллы кремния различных ориентаций и характеристик. «Впервые в России на ростовых установках промышленного типа получен объемный монокристалл карбида кремния диаметром 100 миллиметров и толщиной более 15 миллиметров! — доложил Владимиру Волкову ректор университета Сергей Вдовин. — Дальнейшая реализация проекта обеспечит Мордовии лидирующие позиции в производстве электронных приборов нового поколения». Разработчики продемонстрировали руководителю республики полученные образцы. Волков поинтересовался, чем сотрудники лаборатории будут заниматься дальше. «Планируем отрабатывать технологию роста кристаллов», — пояснил младший научный сотрудник Денис Скворцов.

Первый этап проекта обошелся республике в 20 миллионов рублей. Немецкая компания PVA Crystal Growing Systems GmbH и Университет Фридриха-Александра обучили двух сотрудников лаборатории, которые теперь являются кадровым ядром. Они получили кристалл карбида кремния толщиной 31,2 миллиметра, выращенный беззатравочным способом, и монокристалл диаметром 100 миллиметров и толщиной 9 миллиметров. Второй этап проекта, который продолжался с ноября прошлого года по апрель нынешнего, стоил 13,5 миллиона рублей. За это время отлажены процессы роста монокристаллов карбида кремния промышленного качества. Разработана специальная ростовая ячейка с низким радиальным температурным градиентом в установке Basic-T. Получены пять объемных монокристаллов диаметром 100 миллиметров толщиной от 13 до 50 миллиметров с проводимостью n‑типа. На заключительном этапе в мае-июне при участии немецких партнеров выполнены работы по трансферу технологии в лабораторию МГУ им. Огарева. Получен объемный монокристалл карбида кремния диаметром 100 миллиметров и толщиной более 15 миллиметров. Это обошлось в 4,8 миллиона рублей. Общая стоимость проекта с начала его реализации в 2013 году превысила 195 миллионов рублей.

«Карбид кремния — это один из основных полупроводниковых материалов в современной электронике! — пояснил научный сотрудник Вячеслав Неверов. — На его основе создаются полупроводниковые приборы, которые используются в силовой электронике. Они весьма перспективны, например, в военной промышленности. Особое свойство карбида кремния — стойкость к ионизирующим излучениям. Это значит, что мы полетим на Марс! Кроме того, эти приборы регулируют ток, который протекает там, где нужно». Владимир Волков отметил необходимость заняться отработкой экономической составляющей проекта. При этом нельзя останавливать научные исследования и анализ качественных характеристик полученных кристаллов. «Это один из важнейших для республики проектов наряду с производством оптического волокна, где у нас тоже большие успехи! — считает руководитель региона. — С тех пор, когда впервые заговорили о производстве карбида кремния, прошло более 15 лет, но сейчас наши компетенции в этой сфере сопоставимы с мировыми!»

Материалы по теме
Закрыть